Предложен и реализован новый подход к легированию оксида индия–галлия–цинка (IGZO) сурьмой. Материалы получены путем разложения нитратно-тартратного комплекса с использованием винной кислоты в качестве комплексообразователя. Фазовый состав и морфология легированных материалов исследованы методами рентгеновской дифрактометрии, сканирующей электронной микроскопии, энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии и просвечивающей электронной микроскопии. Определены физические параметры легированных оксидов, такие как ширина запрещенной зоны (по данным УФ-спектрофотометрии) и удельное электрическое сопротивление.
Indexing
Scopus
Crossref
Higher Attestation Commission
At the Ministry of Education and Science of the Russian Federation